選擇好的行星減速機(jī)材料，有利于提高齒輪減速機(jī)的承載力及使用壽命。針對(duì)精密行星減速機(jī)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和齒輪的載荷性質(zhì)，應(yīng)該廣泛采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪熱處理方法有很多。如表面淬火、整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應(yīng)根據(jù)齒輪減速機(jī)的特點(diǎn)選定。

　　1.表面淬火

　　常見的表面淬火方法有高頻淬火（對(duì)小尺寸齒輪）和火焰淬火（對(duì)大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時(shí)，其效果最好。齒面硬度可達(dá)45-55HRC。

　　2.滲氮

　　采用滲氮可保證齒輪在變形最小的條件下，達(dá)到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進(jìn)行最好的精加工，提高了承載能力。

　　3.滲碳淬火

　　滲碳淬火齒輪具有相對(duì)較大的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來(lái)消除熱處理變形，以保證精度。

　　滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的分?jǐn)?shù)為0.2%-0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58-62HRC范圍內(nèi)，若低于57HRC時(shí)，硬面強(qiáng)度顯著下降，高于62HR則脆性增加。滲碳淬火齒輪的硬度，從齒輪表面至深層逐漸降低，而有效滲碳深度規(guī)定為表面至硬度5.25HRC處的深度。

　　滲碳淬火在齒輪彎曲疲勞強(qiáng)度方面的作用除使心部硬度有所提高外，還在于表面的殘余壓應(yīng)力。它可使最大壓應(yīng)力區(qū)的應(yīng)力減小，因此磨齒時(shí)不能磨齒根部分。